Mikroelektronik

Eine kleine Zahl nicht entfernter Partikel oder Gasmoleküle kann bei bestimmten Verfahren erhebliche Konsequenzen haben. So würde kontaminierte Luft bei der Herstellung von Halbleitern und Medikamenten und bei anderen hochempfindlichen Verfahren erhebliche Schäden anrichten.

Moderne Produktionsmethoden sind häufig auf sehr reine Luft angewiesen. In zahlreichen Fällen ist damit zu rechnen, dass die Anforderungen weiter steigen. In der Elektronikindustrie ist zum Beispiel für die Herstellung von VLSI-Schaltkreisen eine sehr saubere Produktionsumgebung erforderlich. Die Profilbreite auf den Schaltkreisen kann unter 1 Mikrometer betragen. Das Ziel ist eine Beschränkung der Kontamination auf Partikelgrößen von unter 0,1 Mikrometer.

Das Herzstück des Reinraums sind die Filter. Hinsichtlich der Raumklassifizierung, der Filterauswahl und des Einflusses der Filter auf die Umgebung muss eine Reihe von Aspekten berücksichtigt werden.

Camfil ist angesichts einer mehr als 15-jährigen Erfahrung im Bereich der Kontaminationskontrolle für Mikroelektronik und Halbleiter und über unser Engagement bei der International Technology Roadmap for Semiconductors in der Lage, die beste Lösung für eine moderne Partikel- und AMC-Kontrolle zu empfehlen.

HEPA-/ULPA-Filter werden in Reinraumbereichen in den ISO 9000-zertifizierten Fabriken von Camfil Farr produziert. Wir können denselben Filter an verschiedenen Standorten fertigen. Dank unserer großen Produktionskapazität sind unsere Produkte jederzeit weltweit erhältlich.

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